气相沉积炉设备特点是什么　　气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料，也可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理，或以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。　　装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下：　　1.多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　2.采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；　　3.气相沉积炉设备自动化高，关键执行电气件采用进口；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。　　4.采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强。

　　真空熔炼炉的优点有哪些　　真空熔炼炉主要用于烧结活性和不溶性金属、硬质合金、磁性材料和不锈钢。实际上是低压（减压）烧结。真空度越高，与中性大气的距离越近，材料发生的化学反应就越少。它的主要优点是：　　（1）真空有利于吸附气体的去除，对烧结后期的收缩有明显的促进作用。　　（2）真空有利于去除硅、铝、镁、钙及其氧化物等杂质，起到净化材料的作用。　　（3）真空可以提高液相烧结的润湿性，有利于烧结过程中的收缩，改善合金的组织。　　（4）真空是一种理想的惰性气体。当其它一次或惰性气体不合适，或材料容易脱碳和渗碳时，可采用真空熔炼炉。　　（5）减少大气中有害成分（水、氧、氮等）对产品的污染。例如，将电解氢中的含水量降低到-40℃是困难的，而在真空烧结中，只要在几百帕的范围内。　　粘结金属在真空液相烧结过程中的挥发损失是一个重要问题。这不仅改变和影响了合金的成分和结构，而且阻碍了烧结过程本身。粘结金属的挥发损失主要发生在烧结后期（即保温阶段）。真空熔炼炉保温时间越长，粘结金属的挥发损失越大。因此，化学杂质、水和其他材料与材料中的碳发生反应，导致一氧化碳与炉内排放。此时，炉压明显升高，合金中总碳含量降低。显然，碳含量的变化取决于原料粉末中的氧含量和烧结过程中的真空度。二者越高，产生一氧化碳的反应越容易，脱碳越严重。