真空烧结炉遇到的故障要怎么解决呢 　　任何机器使用时间久了都会出现一些的问题，下面就真空烧结炉出现故障之后该怎么办给大家介绍下。 　　真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。 　　一、如果是冷却水异常 　　1、确认加热电源已停止。 　　2、真空烧结炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。 　　3、冷却水发生异常时，真空烧结炉处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。 　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。 　　二、真空烧结炉压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让真空烧结炉恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让真空熔炼炉停下来。

　　浅谈真空甩带炉的2种抽真空方式 　　真空甩带炉是用来制备和开发亚稳材料(如非晶态材料)的专用设备，该设备除了具有感应炉的全部特点外，还具有制备块体金属非晶及金属薄带的功能,适用于各种非晶及微晶材料的研究及实验工作，广泛用于新型稀土永磁材料非晶软磁材料及纳米材料科学的开发与研究。 　　1)抽低真空： 　　a)将机械泵拉杆逆时针旋转一下轻轻外拉至不能拉动再顺时针旋转一下锁定； 　　b)等待真空甩带炉的真空表指针为“-0.1”后按下ZDF-2F复合真空计左表头的红色按钮，等待将腔内真空抽至低于中间档3Pa，同时继续紧固腔门上的螺丝。(注意：若超过5分钟未能将真空抽至低于3Pa，请将拉杆按a)步骤所示手法推进2分钟后再拉出) 　　2)抽高真空： 　　a)当真空甩带炉炉腔内真空低于3Pa后，将机械泵拉杆推进并顺时针旋转锁定； 　　b)将扩散泵阀门开关手柄逆时针旋转180°至“开”； 　　c)当左表头指针低于0.2Pa后，按下右表头上的绿色按钮，并按真空甩带炉的复位按钮一次运行高真空表； 　　d)根据真空熔炼炉情况依次更换量程，查看腔内真空度。注意：在当前量程内，若指针高于“1”严禁更换到更小量程查看真空度