气相沉积炉设备特点是什么　　气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料，也可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理，或以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。　　装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下：　　1.多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　2.采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；　　3.气相沉积炉设备自动化高，关键执行电气件采用进口；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。　　4.采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强。

       真空烧结炉由炉体、炉盖、保温桶、热压装置、发热体和电源、真空系统、水冷却系统及测温系统等组成。        　　真空烧结炉炉体全部采用不锈钢制造，为双层结构，分内外桶体，炉底封头采用旋压工艺加工。因为热压装置产生的力要由炉体承受，炉体必需具有很高的强度和足够的刚度，在外力和高温下不得变形。炉底动密封装置的固定座中心线与炉体上法兰盘必需垂直，以保证下顶杆运动的直线度。动密土封装置固定座有良好的冷却条件，以延长密封件的使用寿命。 　　真空烧结炉炉盖由炉盖体、举起油缸和上压头组成。炉盖为双层结构，为承受下顶杆传递的压力，必需具有足够的强度和刚度。上压头的下端工作时处于高温区，必需强制冷却。 　　保温桶由隔热桶、反射桶、保温层及桶体组成，分别用石墨、钼片、石墨毡和不锈钢制作。用钼片制作的反射桶主要抵御由发热元件产生的辐射热，以免损害保温层和炉体。 　　真空烧结炉的热压装置由液压站、油缸、举起油缸、下顶杆及控制器组成。液压站有两路压力输出，一是驱动炉盖上下运动，二是驱动热压油缸运动。