气相沉积炉的优势有哪些
发布时间:2022-09-29 浏览:1592次
气相沉积炉的优势有哪些
气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,是处理工件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。
电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;
气相沉积炉采用智能压力调控,压力波动小;
全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;
多级尾气处理系统,环境友好,能很快收集焦油及副产物,易清理;
气相沉积炉可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高。
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