使用气相沉积炉时需要特别注意哪些事项
发布时间:2023-02-09 浏览:1227次
使用气相沉积炉时需要特别注意哪些事项
使用气相沉积炉时需要特别注意以下几点。大家一起看看吧。
1、模具一般由用户自备,模具材料基本采用高纯石墨,其耐压极限为40MPa。建议用户在30MPa以下使用,加压前计算模具上、下冲头面积,换算成压力。具体公式如下:系统允许加压(吨)=上或下冲头面积30MPa
2、热电偶为钨铼型,使用后变脆,不能接触。破损时请立即更换。其型号为W2型。
3、冬季要注意气相沉积炉循环水的保温问题。否则容易发生自来水管破裂。
4、使用后炉体应保持真空,炉内保温层容易受潮,保持真空下次抽真空会更快。
5、设备复杂,建议专人使用,专人负责,严格对初学者进行使用前培训,有使用后检查、操作使用记录等设备使用规定。
6、气相沉积炉也可作为真空烧结炉使用。用于真空烧结炉时,请注意在炉内放置坩埚后,合上保温板盖后,不要忘记合上其中的小盖。容易烧毁电炉。
7、操作前观察窗玻璃清洁,清扫炉内壁,观察水压情况,观察炉内石墨有无损伤,开机后观察仪表显示是否正常,测试液压系统是否正常工作。
8、气相沉积炉使用一年后,应将仪器送计量部门校准。
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