气相沉积炉设备特点是什么
发布时间:2023-03-06 浏览:1083次
气相沉积炉设备特点是什么
气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料,也可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理,或以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。
装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下:
1.多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
2.采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
3.气相沉积炉设备自动化高,关键执行电气件采用进口;操作直观、简便,触摸屏经过开发,可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能,程序段可直接输入。
4.采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强。
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