真空烧结炉的抽真空流程
发布时间:2023-03-30 浏览:1122次
真空烧结炉的抽真空流程
真空烧结炉的抽真空流程通常包括以下步骤:
1、关闭炉门,将炉腔密封。
2、打开炉腔内的气体排放阀门,将炉内气体排放至外部。
3、打开炉腔内的气体进气阀门,将真空泵的进气管连接至炉腔。
4、打开真空泵的电源,启动真空泵,开始抽真空。
5、根据需要,可以使用氦气检漏仪等设备检查炉腔的真空度。
6、当达到所需真空度时,关闭气体进气阀门和气体排放阀门,停止真空泵。
7、等待炉腔内温度升至所需温度后,可以开始进行烧结工艺。
8、烧结结束后,需要先将炉腔冷却至室温,再打开气体排放阀门,将炉腔内的气体排放至外部。
9、后打开炉门,取出烧结样品。
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